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半導體超潔淨清洗設備

Parts清洗（百級清洗）
1.集超聲波清洗、超聲波精洗、真空幹燥于一(yī)體的超潔淨清洗設備
2.通(tōng)過超聲波結合DIW&有機溶劑的沖洗技術(shù)，去除産品表面的有機雜(zá)質粘污
3.運用物(wù)理的方法采用機械擦除、結合兆聲波沖洗去除微(wēi)小顆粒物(wù)

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